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韓國原裝進(jìn)口高精度氣體質(zhì)量流量計/氣體質(zhì)量流量控制器，使用特別的熱傳感器和控制電路提高計算精度。廣泛應用于半導體工業(yè)和其他行業(yè)，產(chǎn)品設計堅固、耐用，且經(jīng)濟。
官網(wǎng)：http://www.linetech-cn.com 聯(lián)系電話(huà)：021-51352514 聯(lián)系人：李東靜/13774472957
應用：
LINE TECH氣體質(zhì)量流量流量計和流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關(guān)設備、生物反應器、生物過(guò)程控制器、大學(xué)實(shí)驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫療設備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。
優(yōu)勢：
l 測量質(zhì)量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高壓（90公斤）
l 快速響應時(shí)間（＜1秒）
l 高重復性（±0.25%F.S)
l 量程范圍：100~300 SLPM
規格：
型號
M2300V
流量范圍（N2)
100~300 slpm
響應時(shí)間
＜2秒
精確度
±1%
重復精度
±0.25%
輸入輸出信號
0~5Vdc
供電
+15Vdc or +24Vdc,350mA
最大工作壓力
＜ 90 bar
最大工作溫度
0~50℃
漏率
1×10-9atm.cc/sec
控制范圍
2~100%
尺寸：
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