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IV、CV一鍵測;一體機,支持遠程指令控制;支持三同軸接探針臺
能夠覆蓋從材料、晶圓、器件到模塊的測試;詳詢(xún)18140663476
概述:
SPA-6100半導體參數分析儀是武漢普賽斯自主研發(fā)、精益打造的一款半導體電學(xué)特性測試系統,具有高精度、寬測量范圍、快速靈活、兼容性強等優(yōu)勢。產(chǎn)品可以同時(shí)支持DC電流-電壓(I-V)、電容-電壓(C-V)以及高流高壓下脈沖式I-V特性的測試,旨在幫助加快前沿材料研究、半導體芯片器件設計以及先進(jìn)工藝的開(kāi)發(fā),具有桌越的測量效率與可靠性。
基于模塊化的體系結構設計,SPA-6100半導體參數分析儀可以幫助用戶(hù)根據測試需要,靈活選配測量單元進(jìn)行升級。產(chǎn)品支持Z高1200V電壓、100A大電流、1pA小電流分辨率的測量,同時(shí)檢測10kHz至1MHz范圍內的多頻AC電容測量。SPA-6100半導體參數分析儀搭載普賽斯自主開(kāi)發(fā)的專(zhuān)用半導體參數測試軟件,支持交互式手動(dòng)操作或結合探針臺的自動(dòng)操作,能夠從測量設置、執行、結果分析到數據管理的整個(gè)過(guò)程,實(shí)現高效和可重復的器件表征;也可與高低溫箱、溫控模塊等搭配使用,滿(mǎn)足高低溫測試需求。
產(chǎn)品特點(diǎn):
30μV-1200V,1pA-100A寬量程測試能力;
測量精度高,全量程下可達0.03%精度;
內置標準器件測試程序,直接調用測試簡(jiǎn)便;
自動(dòng)實(shí)時(shí)參數提取,數據繪圖、分析函數;
在CV和IV測量之間快速切換而無(wú)需重新布線(xiàn);
提供靈活的夾具定制方案,兼容性強;
免費提供上位機軟件及SCPI指令集;
典型應用:
納米、柔性等材料特性分析;
二極管;
MOSFET、BJT、晶體管、IGBT;
第三代半導體材料/器件;
有機OFET器件;
LED、OLED、光電器件;
半導體電阻式等傳感器;
EEL、VCSEL、PD、APD等激光二極管;
電阻率系數和霍爾效應測量;
太陽(yáng)能電池;
非易失性存儲設備;
失效分析;
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