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SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數，從而實(shí)現器件表面形貌3D測量。
產(chǎn)品功能
1）SuperViewW1光學(xué)3d表面輪廓儀設備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調亮度等自動(dòng)化輔助功能；
3）測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
結果組成：
1、三維表面結構：粗糙度，波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線(xiàn)等；
3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。
應用
在3C領(lǐng)域，可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在半導體制造中，可測量減薄硅片粗糙度、IC晶圓磨劃等；
可用于超精密加工-摩擦學(xué)研究；
用于測量光學(xué)-透鏡類(lèi)器件等。
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。