鵬城半導體技術(shù)（深圳）有限公司

 

鵬城半導體技術(shù)（深圳）有限公司，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳）、北京琨騰科技有限公司以及有多年實(shí)踐經(jīng)驗的工程師團隊共同發(fā)起創(chuàng )建。公司立足于技術(shù)前沿與市場(chǎng)前沿的交叉點(diǎn)，尋求創(chuàng )新引領(lǐng)與可持續發(fā)展，解決產(chǎn)業(yè)的痛點(diǎn)和國產(chǎn)化難題，爭取產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

 

公司核心業(yè)務(wù)是半導體材料、工藝和裝備的研發(fā)設計、生產(chǎn)制造。

公司人才團隊知識結構完整，有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊；還有來(lái)自工業(yè)界的高級裝備設計師團隊和工藝工程師團隊，他們具有20多年成套裝備設計和生產(chǎn)制造經(jīng)驗。

公司依托于哈爾濱工業(yè)大學(xué)（深圳），具備先進(jìn)的半導體研發(fā)平臺和檢測儀器，可以在高起點(diǎn)開(kāi)展科研工作。公司已具有4000多平米潔凈廠(chǎng)房，可開(kāi)展半導體材料和組件的中試、生產(chǎn)，同時(shí)可進(jìn)行半導體裝備的生產(chǎn)和調試。

公司在半導體裝備方面已形成多種產(chǎn)品系列，可供用戶(hù)購買(mǎi)。

 

 

業(yè)績(jì)展示

 

完全自主設計制造的分子束外延（MBE）設備，包括自主設計制造的MBE超高真空外延生長(cháng)室、工藝控制系統與軟件、高溫束源爐、高溫樣品臺、Rheed原位實(shí)時(shí)在線(xiàn)監控儀（反射高能電子衍射儀）、直線(xiàn)型電子槍、膜厚儀（可計量外延生長(cháng)的分子層數）、射頻源等關(guān)鍵部件。真空度達到2×10-8Pa。

設備于2005年在浙江大學(xué)光學(xué)儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗室投入使用，至今仍在正常使用。

設計制造磁控濺射與等離子體增強化學(xué)氣相沉積法PECVD技術(shù)聯(lián)合系統，應用于團簇式太陽(yáng)能薄膜電池中試線(xiàn)。使用單位中科院電工所。

 

設計制造了金剛石薄膜制備設備，應用于金剛石薄膜材料的研究與中試生產(chǎn)設備?，F使用單位中科院金屬研究所。

設計制造了全自動(dòng)磁控濺射設備，可加水平磁場(chǎng)和垂直磁場(chǎng)，自行設計的真空機械手傳遞基片。應用于高密度磁記錄材料與器件的研究和中試?，F使用單位國家光電實(shí)驗室。

設計制造了OLED有機半導體發(fā)光材料及器件的研究和中試成套裝備?，F使用單位香港城市大學(xué)先進(jìn)材料實(shí)驗室。

設計制造了MOCVD及合金退火爐，用于GaN和ZnO的外延生長(cháng)，實(shí)現LED無(wú)機半導體發(fā)光材料與器件的研究和中試?，F使用單位南昌大學(xué)國家硅基LED工程技術(shù)研究中心。

設計制造了磁控濺射研究型設備?，F使用單位浙江大學(xué)半導體所。

設計制造了電子束蒸發(fā)儀研究型設備?，F使用單位武漢理工大學(xué)。